TOP返回頁面頂端

硫酸銅廢棄物處理

印刷電路板產業 ( PCB ) 硫酸銅廢液

印刷電路板製造業於一、二次銅電鍍作業時所使用之掛架上會有電鍍殘留銅附著,就電鍍治具維護而言,須定期進行電鍍掛架表面附著金屬之剝除作業,而事業機構會直接利用硫酸溶液進行電鍍掛架浸泡,藉以溶解表面附著之金屬(主要為銅),而當剝掛架槽硫酸溶液中的金屬離子濃度累積至一定量後,會導致降低後續操作時金屬之溶解效率,故事業機構會定期進行剝掛架槽液更換,所更換之硫酸溶液中由於含有高濃度的銅離子,故稱為「硫酸銅廢液」,本次申請再利用廢棄物來源即為印刷電路板製造業於一、二次銅電鍍作業所定期廢棄更換之「硫酸銅廢液」,並檢附印刷電路板業生產製程與再利用廢棄物產生源如圖所示:

印刷電路板業生產製造及硫硫酸銅廢液產生來源示意圖印刷電路板業生產製造及硫硫酸銅廢液產生來源示意圖

印刷電路板業生產製造及硫硫酸銅廢液產生來源示意圖

 

半導體產業 ( IC ) 硫酸銅廢液

半導體製造業廠內於生產製程中,利用硫酸銅溶液進行晶圓之離子植入製程,同時為確保槽液中銅的固定濃度,會進行硫酸銅溶液之定量補充,然而為避免槽液中其它不純物或污染物質累積而使晶圓受累積性污染,故於生產作業中會定期進行槽液之廢棄更換,本次申請再利用廢棄物來源即為於該公司於半導體製造之離子植入作業中所排放之「硫酸銅廢液」,其生產製程與廢棄物來源如圖所示:

半導體業生產製造及硫硫酸銅廢液產生來源示意圖半導體產業生產製造及硫硫酸銅廢液產生來源示意圖

半導體業生產製造及硫硫酸銅廢液產生來源示意圖